理工学部 電気電子工学科

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神奈川県相模原市中央区
淵野辺 5-10-1 L棟 L317室
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研究設備

  顕微ラマン分光装置:3次元イメージング対応
Nikon ECLIPSE LV150N SANYU SC-701
   WITec alpha 300     
  光学顕微鏡    
Nikon ECLIPSE LV150N SANYU SC-701
   Nikon ECLIPSE LV150N      Olympus BX51
  紫外可視分光光度計    分光蛍光光度計
Nikon ECLIPSE LV150N SANYU SC-701
   Shimadzu UV1900      Shimadzu RF6000
   原子間力顕微鏡     触針段差計
ULVAC RIKO MILA-700 DekTak
     島津 FM-AFM      Bruker DekTak XT
 グラフェン熱CVD装置(Cu用)    グラフェン熱CVD装置(Ir用)
マイクロフェーズ MPCVD-Graphene EpiQuest Graphene-CVD
   マイクロフェーズ MPCVD-Graphene     EpiQuest Graphene-CVD
  インク調製用ホモジナイザー    インク粘性計
Nikon ECLIPSE LV150N SANYU SC-701
   ニューロング DP-320     Anton Paar ViscoQC100
  スクリーン印刷機    乾燥器
Nikon ECLIPSE LV150N SANYU SC-701
   ニューロング DP-320    
   ランプアニール炉      熱処理用石英管炉
ULVAC RIKO MILA-700 ヒートテック管状炉
   ULVAC RIKO MILA-700    ヒートテック製管状炉
   酸素プラズマアッシャー  電子線加熱+抵抗加熱型蒸着装置
SAMCO FA-1 SANYU SVC-700TMSG/EB
     SAMCO FA-1      SANYU SVC-700TMSG/EB
   マニュアルプローバ     真空プローバシステム
ハイソル HMP-400 システムブレイン SB-VPS
   ハイソル HMP-400    システムブレイン SB-VPS
  半導体パラメータアナライザ ホール効果測定装置(重里研究室所有)
ハイソル HMP-400 システムブレイン SB-VPS
    Keysight B1500    Nanometrics Hall Measurement
  電気化学測定用ポテンショ/ガルバノスタット
μAutolab μAutolabIII/FRA2
    μAutolab    μAutolabIII/FRA2
   ドラフトチャンバー     超純水製造装置
ドラフトチャンバー 超純水製造装置

共通機器として使用している装置群 (理工学部附置機器分析センター)

  • X線回折装置(RIGAKU SmartLab)
  • 光電子分光装置(XPS)
  • 走査型電子顕微鏡(SEM)
  • 透過型電子顕微鏡(TEM)
  • 収束イオンビーム加工装置(FIB)
  • マスクアライナー
  • 電子線描画装置