理工学部 電気電子工学科

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神奈川県相模原市中央区
淵野辺 5-10-1 L棟 L317室
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研究設備

光学顕微鏡 酸素プラズマ発生装置
Nikon ECLIPSE LV150N SANYU SC-701
   Nikon ECLIPSE LV150N      SANYU SC-701
ランプアニール炉 熱CVD装置
ULVAC RIKO MILA-700 マイクロフェーズ MPCVD-Graphene
   ULVAC RIKO MILA-700   マイクロフェーズ MPCVD-Graphene
原子間力顕微鏡 触針段差計
ULVAC RIKO MILA-700 DekTak
     島津 FM-AFM      Bruker DekTak XT
電子線加熱+抵抗加熱型蒸着装置ウェッジボンダー
SANYU SVC-700TMSG/EB Bonder
     SANYU SVC-700TMSG/EB      West Bond 7476D
マニュアルプローバ 真空プローバシステム
ハイソル HMP-400 システムブレイン SB-VPS
   ハイソル HMP-400    システムブレイン SB-VPS
ドラフトチャンバー 超純水製造装置
ドラフトチャンバー 超純水製造装置
   

共通機器として使用している装置群 (理工学部附置機器分析センター)

  • 顕微ラマン分光装置
  • 光電子分光装置(XPS)
  • 原子間力顕微鏡(AFM)
  • 走査型電子顕微鏡(SEM)
  • 透過型電子顕微鏡(TEM)
  • 収束イオンビーム加工装置(FIB)
  • マスクアライナー
  • 電子線描画装置